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椭圆偏振测厚仪
在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,更加和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数,如:布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜厚,其它测膜厚的方法还有称重... 详细介绍
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